多层商标薄膜-多层薄膜材料设计？(3)
时间:2022-11-01 21:33
3.1宽带增透膜的使用要求，...................................................……，......................................……13 3.2薄膜材料的选择..............................................................................•••••••••••••••••••••••••••••••••……13 3.2.1选择薄膜材料的依据.........................................................................................……13 3.2.2选择薄膜材料.......................................................................................................……15 3.3增透膜设计理论基础......................................................................................................……18 3.3.1单层膜的减反射原理及计算..……，....................................……。........................……18 3.3.2双层减反射膜的原理及计算......................................................................……，..…20 3.3.3三层减反射膜的原理及计算.......................................................”...................……21 3.3.4多层膜膜系的优化方法.....................................................................................……22 3.4课题设计方案.......................................................................................•...•••••••...•...•••••......……24 第四章制备工艺...............................................................................................••.••••••••••••••••••••••••……26 4.1薄膜的制备装置...........................................................……，.............................................……26 4.2主要工艺因素分析....................……，...............................................................................……31 4.3成膜过程..................................................……，...........................……，..................................……32 4.4镀膜材料折射率的确定.................................................................................................……35 4.5制备工艺过程.................................................................................•••••••••••••••••••••••••••••••••••……37 第五章误差及测试结果分析...................................................................................................……39 5.1实验结果..........................................................……，...........................……，••••••.................……39 5.2误差分析.............……，....................................................................................”................……40 5.3薄膜质量检测...................................................................................................................……43  |